1、总则

《洁净厂房设计规范》GB 50073-2013，经住房和城乡建设部2013年1月28日以第1627号公告批准发布。本规范是在《洁净厂房设计规范》GB 50073-2001的基础上修订而成，上一版的主编单位是中国电子工程设计院，参编单位是信息产业部第十一设计研究院、中国石油化工集团上海医药工业设计院、中国建筑科学研究院，主要起草人

3、空气洁净度等级

3.0.1 本规范修订过程中，涉及洁净技术的各有关单位、科技人员和专家们都强烈希望“规范应与国际接轨”，为此，本规范修订中将空气洁净度等级等效采用国际标准《洁净室及相关被控环境——第一部分，空气洁净度的分级》IS0 14644-1，在该标准中列出的空气洁净度整数等级(表3.0.1)及其关注的大于或等于要求粒径的允许浓度

4、总体设计

4.1.1 洁净厂房与其他工业厂房的区别在于洁净厂房内的生产工艺有空气洁净度要求。因此，设有洁净厂房的工厂厂址宜选在大气含尘浓度较低的地区，如农村、城市远郊、水域之滨等，不宜选择在气候干旱、多风沙地区或有严重空气污染的城市工业区。根据国内外测试资料，农村空气污染程度较低，其含尘浓度一般只相当

5、建筑

5．1．1 洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性，为生产工艺的调整创造条件。本条规定是指在不增加面积、高度的情况下，进行局部的工艺和生产设备调整，在这种情况下，厂房内墙的可变性就是一个重要的措施，为此，本条规定不宜采用内墙承重体系。5．1．3 主体结构要具备同建筑处理及其室内装备和装修水平相适应的

6、空气净化

6.1.1 洁净的生产环境是生产工艺的需要，是确保产品的成品率和产品质量的可靠性、长寿命所必需的。随着我国国民经济的发展，各行各业对生产环境的温度、相对湿度和洁净度的要求也越来越高。例如：大规模和超大规模集成电路的发展很快，在1980年时其集成度只有64kB，而到目前集成度已提高到1GB;64kB集成电路前工序

7、给水排水

7.1.1 洁净厂房内管道的敷设方式直接影响洁净室的空气洁净度，因此，条文中首先要求管道尽量在洁净室外敷设，以最大限度地减少洁净室内的管道。目前，洁净厂房的管道布置形式有：(1) 各种干管布置在技术夹层、技术夹道、技术竖井内。特别是有上、下夹层的洁净厂房，给水排水干管大都设在下夹层内。(2) 暗装立管

8、工业管道

8.1.1、8.1.2 本次修订的理由是：(1) 由于现有洁净厂房内，除给排水管道外的工业管道还包括各类气体输送、液体输送和真空管道等，所以将本章扩大更名为“工业管道”。据了解，目前洁净厂房内的工业管道干管、支干管均基本敷设在上、下技术夹层、技术夹道或特殊的管廊内，这种方式既可满足洁净室(区)生产工艺的

9、电气

9.1.1 洁净厂房内有较多的电子设备系单相负荷，存在不平衡电流。而且环境中有荧光灯、晶体管、数据处理以及其他非线性负荷存在，配电线路中存在高次谐波电流，致使中性线上流有较大的电流。而TN-S或TN-C-S接地系统中有专用不带电的保护接地线(PE)，因此安全性好。9.1.2 在洁净厂房中，工艺设备用电的负

附录A 洁净室或洁净区性能测试和认证

附录A 洁净室或洁净区性能测试和认证A.1 通则本附录编写的指导思想是与国际接轨，依据国际标准《洁净室及相关受控环境》ISO 14644、《生物污染控制》ISO 14698等的内容进行编制。A.1.1 洁净室或洁净区在设计、施工验收后，应进行综合性能评价。洁净室交付使用后，由于洁净室维护管理不当，洁净室工作人员误

前言

前言中华人民共和国国家标准洁净厂房设计规范Code for design of clean roomGB 50073-2013主编部门：中华人民共和国工业和信息化部批准部门：中华人民共和国住房和城乡建设部施行日期：2013年9月1日中华人民共和国住房和城乡建设部公告第1627号住房城乡建设部关于发布国家标准